À¶¾¨ÌåÓýÖ±²¥

Überwachung der luftgetragenen molekularen Kontamination im Reinraum der Elektronikindustrie

In der Elektronikindustrie, beispielsweise bei der Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Kommunikationsgeräten, kann AMC* die Leistung beeinträchtigen und zu einer Verschlechterung der Qualität von Geräten und Produkten im Reinraum führen.

*AMC: Luftgetragene molekulare Kontamination

Haben Sie solche Probleme?

  • Manuelle Analysen sind kostenintensiv, erfordern Fachwissen und Zeit
  • Möchten Sie wissen, wann der richtige Zeitpunkt für den Austausch des chemischen Filters ist?
  • Matrizenkorrosion bei elektronischen Geräten
  • Beschlagene Spiegellinse einer Produktionsanlage
  • Abbau der Durchbruchspannung des oxidierten Films
  • ijٳú´Ú±ð³ó±ô±ð°ù
  • Abnormales Wachstum dünner Filme

Das AMC-Überwachungssystem von À¶¾¨ÌåÓýÖ±²¥ ermöglicht die Visualisierung des Kontaminationsstatus und die Reduzierung der Verwaltungskosten

Das AMC-Überwachungssystem von À¶¾¨ÌåÓýÖ±²¥ unterstützt die Überwachung von Kontaminationskonzentrationstrends und die Wartung chemischer Filter durch automatisierte Messungen und ergänzt herkömmliche Messungen auf Basis manueller Analysen und trägt so zur Lösung der Kundenprobleme bei. Durch kombinierte Messungen der Außenatmosphäre können wir mit diesem System umfassendere Messlösungen anbieten.

Merkmale

  • Stabile automatische und kontinuierliche Messung
    Schätzen Sie die Ursachen von Defekten an Produkten/Peripheriegeräten und den Zeitpunkt des Austauschs der chemischen Filter durch die Überwachung von Trends ab.
  • Einfache Bedienung
    Besondere Fähigkeiten sind nicht erforderlich. Reduzieren Sie Verwaltungskosten, Zeit und Arbeitskosten
  • Bauen Sie ein System nach Anforderung auf
    Mehrpunktmessung mit Leitungswähler und tragbarem Trolley-Typ (Option). Unterstützt nicht nur Messungen in Reinräumen, sondern auch Außenluftmessungen.

Fallstudien

  • Messung der luftgetragenen molekularen Kontamination (AMC) in einem Reinraum oder in der Belüftungsluft
  • Fokussierte Messung an einer Stelle, beispielsweise an der Peripherie bestimmter Geräte
  • Erkennt bestimmte Ereignisse, wie zum Beispiel eine Erhöhung der Stickoxidkonzentration durch erhöhten Verkehr (Außenatmosphäre).

µþ°ù´Ç²õ³¦³óü°ù±ð²Ô

Verwandte Produkte

APNA-370
APNA-370

Umgebungs-NOx-Monitor

APSA-370
APSA-370

Umgebungs-Schwefeldioxid-Monitor

APHA-370
APHA-370

Kohlenwasserstoff-Monitor / THC-Analysator

APOA-370
APOA-370

Umgebungs-Ozon-Monitor

Informationsanfrage

Sie haben Fragen oder Wünsche? Nutzen Sie dieses Formular, um mit unseren Spezialisten in Kontakt zu treten.

* Diese Felder sind Pflichtfelder.

Corporate / Unternehmen