蓝鲸体育直播

Components & Modules

半导体プラズマモニタ用分光器

半导体製造プロセスでは、成膜やエッチングをはじめとし、多種多様な製造工程でプラズマ技術が利用されています。 蓝鲸体育直播は、研究開発から生産ラインにおけるプロセスの終点検知やコンディション管理、プラズマ診断など、幅広い計測ソリューションを提供し、生産性向上や品質向上に貢献しています。

高スループット?超高感度モデル測定波長範囲 200 - 1000 nmの広範囲で超高感度を実現。プラズマ発光分光に最適です。
? OES Star
真空紫外?小型モデル測定波長範囲 115 - 320 nmのVUV領域の計測、小型で低ノイズ?高感度を実現しました。
? VU90
マルチチャンネルモデル最大32チャンネルのバンドルファイバーとイメージング検出器により、プラズマ分布计测を実现しました。
? M116/135
超高波长分解能モデル最小0.025 nmの波長分解能を実現、自由度が高く紫外?可視?近赤外領域の計測に最適です。
? iHR320/550
贰迟丑别谤颁础罢対応小型分光器各種通信仕様(EtherCAT, Ethernet, USB)を選択可能な小型分光器です。
? VS-70 MC
高速サンプリングモデル最小のサンプリング周期1.4 msecを実現、パルスプラズマプロセス等の計測に最適です。
? EV 2.0 API Fast

 

OES-Star
OES-Star

高スループット

VU90 Spectrometer
VU90 Spectrometer

真空紫外小型分光器

PoliSpectra M116 MultiTrack Spectrometer
PoliSpectra M116 MultiTrack Spectrometer

マルチチャネル分光器 M116/M135分光器

颈贬搁シリーズ
颈贬搁シリーズ

イメージングスペクトロメータ iHR320/iHR550

VS70-MC
VS70-MC

贰迟丑别谤颁础罢対応小型分光器

EV 2.0 API Fast
EV 2.0 API Fast

高速サンプリングモデル

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