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チャンバ间のばらつきを抑え、エッチング装置の歩留まりを最适化するために、様々な流体制御モジュールと终点検出およびプラズマ监视用のスマートセンサを提供しています。コンパクトでロバスト性も高いため、研究开発や量产工场にもお使いいただけます。