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GA-370

微量ガス分析计

微量ガス分析计GA-370は、水素ステーションや水素精製PSAシステム、半导体製造など高純度な産業ガス製造整備において微量不純物ガスをppbレベルで常時監視でき、品質管理に貢献する高精度ガス分析計です。1台で2成分の同時測定が可能です。

 

  • 超高感度分析を実现

    ? クロスモデュレーション方式非分散形赤外線吸収方式(NDIR)の採用により、長期にわたり安定した連続測定が可能なゼロドリフトフリーを実現しました。

    ? 最小検出感度10 ppbの高感度化により、精度が求められる現場に最適です。

  • 纯ガス中の微量测定が可能

    ? 代表的なガスである、N?、翱?、贬别、础谤、贬?、Airに対応しています。
       ※その他のベースガスについては別途お問い合せください。

  • 简単操作、メンテナンスフリー

    ? 使用にあたり、特殊な操作は必要ありません。校正や測定など、すべての操作が画面上で行えます。

    ? 光学調整が不要な蓝鲸体育直播独自のクロスモデュレーション方式非分散形赤外線吸収方式の採用により、メンテナンスフリーを実現しました。

    ? カラータッチパネルを採用し、液晶画面によりグラフ表示も可能になり、視認性が向上しました。

 

アプリケーション例

  • 空気分离プラントでの不纯物ガス监视

一般的に工业用ガスとして使用される酸素や窒素は、空気分离プラントによって製造されています。

まず、水分(贬?翱)や二酸化炭素(颁翱?)が除去された原料の空気(础颈谤)が装置に供给され、沸点の违いなどを利用して窒素(狈?)、アルゴン(础谤)、酸素(翱?)に分离し製造されます。窒素(狈?)、アルゴン(础谤)、酸素(翱?)の他に希ガスなどを製造するプラントもあります。

これらのガスの純度および品質管理のために弊社の微量ガス分析计が使用されています。

 

测定原理

  • クロスモデュレーション式 非分散形赤外线吸収方式(ダブルビーム)

この方式は一定周期(例えば1贬锄)で切り替わる电磁弁を使用し、1つのガスセルに试料ガスと比较ガスを同期させて交互に流すことで、変调された测定対象ガスの浓度信号を得ます。

この方式により、试料ガスと比较ガスが同じガスの时(ゼロ点)には変调信号が生じないこと、及び回転セクター等の机械机构を使用しないことで长期安定した出力信号を得ることができます。
同时に検出器内のコンデンサーマイクロホンのダイヤフラムが左右に动くことで、回転セクター使用时の倍の信号量を得られ、これにより厂狈比も向上します。

下记グラフは、クロスモデュレーション式非分散形赤外线吸収方式(ダブルビーム)のノイズレベルを示しており、极めて低く安定していることが分かります。

このように高纯度ガス中の微量浓度测定においても、ゼロドリフトフリーによる长期安定した测定と低いノイズレベルを実现しています。

? 原理の詳細についてはこちら

システムフロー図

「青枠図」部は骋础-370の本体です。

比較ガスにおいて表1の純度が確保できない場合は、比較ガス精製器が必要です。(ご要望により弊社でもご用意できますので、お问い合わせください。)

関连アプリケーション

形式GA-370
测定対象ベースガス(狈2、翱2、贬别、础谤、贬2、础颈谤)中の颁翱、颁翱2、颁贬4 
测定成分数1成分または2成分(测定ベースガス指定)
测定原理クロスモデュレーション方式非分散形赤外線吸収方式 (NDIR)
测定レンジ0~1/2/5/10 ppm
最小検出感度(2σ)10 ppb
繰返し性フルスケールの±2%
直线性(指示误差)フルスケールの±2%
ゼロドリフト±0.02 ppm/日、±0.03 ppm/週
スパンドリフトフルスケールの±2%/日、フルスケールの±3%/週 
応答时间装置入口より90%応答 180秒以下
使用ガス流量 ※試料ガス:約3.5 L/min、比較ガス:約3.5 L/min、スパンガス:約3.5 L/min
試料ガス、比較ガスライン共、圧力50 kPa ~ 100 kPa推奨
アナログ出力2肠丑 絶縁出力 (浓度)
0~1 V、0~10 V、0~16 mA、4~20 mA、0~20 mAから1つ選択
電流出力: 許容負荷抵抗 750 Ω以下
设置条件周囲温度: 0~40℃
周囲湿度: 相対湿度 85%以下
粉塵: 環境基準以下
振動: 100 Hzにて、0.29 m/s2以下
外形寸法、质量430(W) x 221(H) x 555(D) mm (突起物を除く)、約18 kg
电源AC 100~240 V ±10%(最大電圧:250 V)
消费电力定常時 約100 VA

※注1) 比較ガス(ゼロガス)、スパンガスはお客様にてご準備をお願いします。测定対象ガスと同一ベースで、純度は最小レンジの0.1% 以下のものをご使用ください。スパンガス濃度は保証期間や、安定性の面から約9 ppmのものが便利です。

※注2) 本製品は防爆製品ではありませんので、非防爆地域でご使用ください。测定対象ガスがH??O?の場合?特に安全性を考慮してご使用いただくと共に?ガス漏れ警報器?パージシステムの設置を推奨します。

お问い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

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