半导体製造プロセス用 HF濃度計
接液部を完全笔贵础とし、サイズを极限まで绞り込んだセンサーを採用しています。贬贵浓度50%までのワイドレンジ测定にも対応可能で、半导体プロセスでの清浄度要求にマッチします。
ワイドレンジ対応
低浓度から高浓度（贬贵浓度50%まで）オートレンジ対応机能により、各ターゲット浓度において最适な测定パフォーマンスを実现します。
コンタミフリー
接液材质を笔贵础のみとしたクリーン构造のセンサーを採用しています。耐薬性のあるセンサーなので半导体プロセスで使用されるさまざまな薬液の测定にも対応可能です。
高安定性/再现性精度
FS ±0.5%の再現性精度を実現します。
浓度换算机能
薬液浓度と导电率の関係、および温度特性を入力することで浓度换算が可能です。特に低浓度の薬液の希釈管理には最适です。
| 型式 | HF-960EM |
|---|---|
| 测定レンジ | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm |
| 繰り返し性 | フルスケールの+/- 0.5% 以内（等価入力にて） |
| 直线性 | フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以内（等価入力にて） |
| 伝送出力 | 出力点数：4点 |
| 接点出力 | 出力点数：5点 |
| 接点入力 | 入力点数： 2点 |
| 通信机能 | RS-485 |
| 电源 | DC 24 V +/- 10% 15W |
| 适合センサ | CM-520 Series |
| 接液部 | PFA |
