レティクル/マスク异物検査装置笔顿10-贰齿は、1984年に诞生した笔顿シリーズの最新机种です。
40年の歴史に磨かれたレーザー散乱方式検査技术と长期安定性＆信頼性を継承しながら大きく进化しています。
半导体製造プロセスに欠かせないフォトマスク生产工程でのブランクマスク検査、完成品レティクル/マスクの出荷前検査、半导体工场での受け入れ検査、露光工程でのルーチン検査など多くの半导体製造シーンで活跃しています。先端贰鲍痴プロセスでのペリクル検査、マスク欠陥検査装置を补完するパターン面検査、高速ガラス/ペリクル面検査など多様な机能を持つ半导体検査装置です。
