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混合应用系统

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蓝鲸体育直播 是高性能汽化系统的領先供應商之一。 蓝鲸体育直播 的液体蒸发器用於整個半导体製造過程,以安全高效地將氣相液體前輸送到使用點。無論液體需要在真空或大氣壓力下汽化,蓝鲸体育直播 都可以提供汽化技術來滿足您的要求。 蓝鲸体育直播 擁有 30 多年的汽化專業知識,採用直接噴射、混合噴射、和加熱汽化技術。

蓝鲸体育直播的液體源汽化系统可以穩定、有效率地汽化液體材料。我們的蒸發器還可以連接到 蓝鲸体育直播 的自動加注系統系列,以將蒸汽安全、連續地輸送到使用點。由於可以在不中斷製造過程的情況下更換液罐,因此不會造成停機。

贬翱搁滨叠础有经验的一些液体材料

Acetic Acid

Benzene

B(OCH3)3

BTBAS

C6F6

Cyclohexane

Decyl-TMOS

DPM

DPMS

Ethanol

Ge(OCH3)4

GeCl4

H2O

HCD

HDFDA

HMDS

HMDSO

i-Octane

IPA

Me-Cyclohexane

Methanol

n-Octane

OMCTS

OMTS

P(OCH3)3

PO(OCH3)3

SAM24

Si(CH3)4

Si(OCH3)4

SiCH3Cl3

SiCl4

SiH(OCH3)3

SiHCl3

Ta(OC2H5)5

TBTDETa

TDEAHf

TDEAT

TDMAS

TDMAT

TEB

TEMAHf

TEMAZr

TEOS

TEPO

THF

Ti(O-iPr)4

TiCl4

TMCTS

Toluene

1,3-DMA

如果您需使用上面未列出的任何液体材料,请与我们联络

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